GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片

标准编号：GB/T 30656-2014

标准名称：碳化硅单晶抛光片

英文名称：Polished monocrystalline silicon carbide wafers

发布日期：2014-12-31

实施日期：2015-09-01

起草人

陈小龙、郑红军、刘春俊、刘振洲、张玮、郭钰

起草单位

北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所

适用范围

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单（或合同）内容。 本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。