GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

标准编号：GB/T 11446.6-2013

代替了下列标准：GB/T 11446.6-1997

标准名称：电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

英文名称：Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer

发布日期：2013-12-31

实施日期：2014-08-15

起草人

王奕、褚连青、何秀坤、段曙光

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所

适用范围

GB/T 11446的本部分规定了电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法。 本标准适用于电子级水中二氧化硅的测定，其中检出限为1μg/L。