GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口

标准编号：GB/T 15872-2013

代替了下列标准：GB/T 15872-1995

标准名称：半导体设备电源接口

英文名称：Power supply interface for semiconductor equipment

发布日期：2013-12-17

实施日期：2014-05-15

起草人

朱忠尼、亓迎川、梅昌义、祁承超

起草单位

中国人民解放军空军雷达学院、工业和信息化部电子工业标准化研究院

适用范围

本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别,选择电器附件、导线和电缆的要求等。 本标准适用于半导体设备的电源接口。