GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

标准编号：GB/T 29557-2013

标准名称：表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

英文名称：Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth

发布日期：2013-07-19

实施日期：2014-03-01

起草人

陈建、张训生、张卫红、盛世善、谢方艳、龚力

起草单位

中山大学、中国科学院大连化学物理研究所、浙江大学

适用范围

本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。