GB/T 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则

标准编号：GB/T 26533-2011

标准名称：俄歇电子能谱分析方法通则

英文名称：General rules for Auger electron spectroscopic analysis

发布日期：2011-05-12

实施日期：2011-12-01

起草人

姚文清、李展平、曹立礼、朱永法

起草单位

清华大学

适用范围

本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。 本标准适用于俄歇电子能谱仪。