GB/T 26307-2010 银靶

标准编号：GB/T 26307-2010

标准名称：银靶

英文名称：Silver target

发布日期：2011-01-14

实施日期：2011-11-01

起草人

闫琳、杨华、雷继锋、熊晓东、李蕊、杨永刚、江轩

起草单位

北京有研亿金新材料股份有限公司

适用范围

本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志，包装、运输，贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。