GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语

标准编号：GB/T 26111-2010

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语

英文名称：Micro-electromechanical system technology - Terms

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

起草人

丁红宇、刘伟、张苹、崔波

起草单位

中机生产力促进中心、清华大学、中北大学等、中国电子科技集团第13研究所、上海交通大学

适用范围

本标准规定厂微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本标准适用于微机电系统领域的研究、开发，评测和应用。