GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

标准编号：GB/T 15909-2009

代替了下列标准：GB/T 15909-1995

标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)

英文名称：Gas for electronic industry - Silane

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

起草人

余京松、周鹏云

起草单位

浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院

适用范围

u3000u3000本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。 u3000u3000本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。