GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

标准编号：GB/T 24580-2009

标准名称：重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

起草人

马农农、何友琴、丁丽

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所

适用范围

本标准规定了重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱测试方法。本标准适用于二次离子质谱法(SIMS)对重掺n型硅衬底单晶体材料中痕量硼沾污(总量)的测试。