GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

标准编号：GB/T 24577-2009

标准名称：热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

英文名称：Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

起草人

王奕、褚连青、李静

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所

本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。