GB/T 13387-2009 硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

标准编号：GB/T 13387-2009

代替了下列标准：GB/T 13387-1992

标准名称：硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

英文名称：Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

起草人

杜娟、孙燕、卢立延

起草单位

有研半导体材料股份有限公司

适用范围

u3000u3000基准面长度对于半导体加工过程中使用材料的适应性是一项重要的参数。晶片自动操作设备被广泛应用于半导体制造业中，它们是通过晶片主参考面识别和定位获得正确的对准。