GB/T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

标准编号：GB/T 24574-2009

标准名称：硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

英文名称：Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

起草人

李静、何秀坤、蔺娴

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所

适用范围

本标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。 本标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。 本标准用于检测单晶硅中含量为1×1011at·cm-3~5×1015at·cm-3的各种电活性杂质元素。