GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法

标准编号：GB/T 6624-2009

代替了下列标准：GB/T 6624-1995

标准名称：硅抛光片表面质量目测检验方法

英文名称：Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

起草人

徐新华、王珍

起草单位

上海合晶硅材料有限公司

适用范围

u3000u3000本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。 u3000u3000本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。