GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法

标准编号：GB/T 14140-2009

代替了下列标准：GB/T 14140.1-1993、GB/T 14140.2-1993

标准名称：硅片直径测量方法

英文名称：Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

起草人

刘玉芹、蒋建国、张静雯、冯校亮

洛阳单晶硅有限责任公司

u3000u3000本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 u3000u3000本标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为Φ300mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。