GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮

标准编号：GB/T 16944-2009

代替了下列标准：GB/T 16944-1997

标准名称：电子工业用气体 氮

英文名称：Gas for electronic industry - Nitr ogen

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

起草人

周泽义、周鹏云

起草单位

中国计量科学研究院、西南化工研究设计院

适用范围

u3000u3000本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、、加压，化学气相淀积等。