GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

标准编号：GB/T 4061-2009

代替了下列标准：GB/T 4061-1983

标准名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

起草人

袁金满

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司

适用范围

u3000u3000本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。 u3000u3000本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料，以细硅芯为发热体，在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。