GB/T 23611-2009 金靶材

标准编号：GB/T 23611-2009

标准名称：金靶材

英文名称：Gold target

发布日期：2009-04-15

实施日期：2010-02-01

起草人

闫琳、江轩、吕保国

起草单位

有研亿金新材料股份有限公司、北京达博有色金属焊料有限责任公司

适用范围

本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。 本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。