DIN EN ISO 25178-603:2014-02 Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments (ISO 25178-603:2013); German version EN ISO 25178-603:2013

标准编号：DIN EN ISO 25178-603:2014-02

英文标题：Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments (ISO 25178-603:2013); German version EN ISO 25178-603:2013

德文标题：Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie) (ISO 25178-603:2013); Deutsche Fassung EN ISO 25178-603:2013

发布日期：2014-02

标准预览图