GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

标准编号：GB/T 22572-2008

标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

英文名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

发布日期：2008-12-11

实施日期：2009-10-01

起草人

马农农、何友琴、何秀坤

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心

适用范围

本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。