DIN 50438-3:2000-12 Testing of materials for use in semiconductor technology - Determination of impurity content silicon by infrared absorption - Part 3: Boron and phosphorus

标准编号：DIN 50438-3:2000-12

英文标题：Testing of materials for use in semiconductor technology - Determination of impurity content silicon by infrared absorption - Part 3: Boron and phosphorus

德文标题：Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung des Verunreinigungsgehaltes in Silicium mittels Infrarot-Absorption - Teil 3: Bor und Phosphor

发布日期：2000-12

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