DIN EN ISO 14644-9:2012-12 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012); German version EN ISO 14644-9:2012
标准编号：DIN EN ISO 14644-9:2012-12
英文标题：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012); German version EN ISO 14644-9:2012
德文标题：Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit (ISO 14644-9:2012); Deutsche Fassung EN ISO 14644-9:2012
发布日期：2012-12
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