DIN 50451-6:2014-11 Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH₄F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid

标准编号：DIN 50451-6:2014-11

英文标题：Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH₄F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid

德文标题：Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH₄F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure

发布日期：2014-11

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