DIN EN 62047-5:2012-03 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches (IEC 62047-5:2011); German version EN 62047-5:2011
标准编号：DIN EN 62047-5:2012-03
英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches (IEC 62047-5:2011); German version EN 62047-5:2011
德文标题：Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Hochfrequenz-MEMS-Schalter (IEC 62047-5:2011); Deutsche Fassung EN 62047-5:2011
发布日期：2012-03
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