GB/T 17473.3-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定

标准编号：GB/T 17473.3-2008

代替了下列标准：GB/T 17473.3-1998

标准名称：微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定

英文名称：Test methods of precious metals pastes used for microelectronics Determination of sheet resistance

发布日期：2008-03-31

实施日期：2008-09-01

起草人

金勿毁、刘继松、李文琳

起草单位

贵研铂业股份有限公司

适用范围

本部分规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测试方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。