DIN EN 62047-15:2016-01 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding strength between PDMS and glass (IEC 62047-15:2015); German version EN 62047-15:2015

标准编号：DIN EN 62047-15:2016-01

英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding strength between PDMS and glass (IEC 62047-15:2015); German version EN 62047-15:2015

德文标题：Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 15: Prüfverfahren zur Bondqualität zwischen PDMS und Glas (IEC 62047-15:2015); Deutsche Fassung EN 62047-15:2015

发布日期：2016-01

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