GB/T 3163-2007 真空技术 术语

标准编号：GB/T 3163-2007

代替了下列标准：GB/T 3163-1993

标准名称：真空技术 术语

英文名称：Vacuum technology - Terminology

发布日期：2007-12-20

实施日期：2008-06-01

起草人

王学智、张世伟、王晓冬

起草单位

东北大学、沈阳真空技术研究所

适用范围

本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。 本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。