DIN EN 62047-4:2011-03 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010

标准编号：DIN EN 62047-4:2011-03

英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010

德文标题：Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik (IEC 62047-4:2008); Deutsche Fassung EN 62047-4:2010

发布日期：2011-03

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