DIN 50457-2:1999-11 Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the volume fraction of components in dopant gas mixtures by wet-chemical methods - Part 2: Phosphine in nitrogen phosphine mixtures

标准编号：DIN 50457-2:1999-11

英文标题：Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the volume fraction of components in dopant gas mixtures by wet-chemical methods - Part 2: Phosphine in nitrogen phosphine mixtures

德文标题：Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung der Komponentenanteile in Dotiergasgemischen mit Hilfe nasschemischer Verfahren - Teil 2: Phosphin in Stickstoff-Phosphin-Gemischen

发布日期：1999-11

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