GB/T 20522-2006 半导体器件 第14-3部分: 半导体传感器-压力传感器

标准编号：GB/T 20522-2006

标准名称：半导体器件 第14-3部分: 半导体传感器-压力传感器

英文名称：Semiconductor devices Part 14-3: Semiconductor sensors - Pressure sensors

发布日期：2006-08-23

实施日期：2007-02-01

起草人

张秋、陈勤

起草单位

中国电子技术标准化研究所

适用范围

本标准规定了测量绝压、表压和差压的半导体传感器的要求。