GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
标准编号:GB/T 11068-2006
代替了下列标准:GB/T 11068-1989
标准名称:砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
英文名称:Gallium arsenide epitaxial layer - determination of carrier concentration voltage-capacitance method
发布日期:2006-07-18
实施日期:2006-11-01
起草人
王彤涵
起草单位
北京有色金属研究总院
适用范围
本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法,适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围:1×10<上标14>cm<上标-3>~5×10<上标17>cm<上标-3>。