IEC 62047-1:2016 半导体器件 - 微机电器件 - 第1部分:术语和定义

标准编号：IEC 62047-1:2016

中文名称：半导体器件 - 微机电器件 - 第1部分:术语和定义

英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions

发布日期：2016-01-06

标准范围

IEC 62047-1:20 16定义了微机电设备的术语，包括此类设备的生产过程。与上一版相比，此版本包括以下重大技术变更:a)删除十个术语；b)修订12个术语；c)增加16个新术语。

IEC 62047-1:2016 defines terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.This edition includes the following significant technical changes with respect to the previous edition:
a) removal of ten terms;
b) revision of twelve terms;
c) addition of sixteen new terms.

标准预览图