IEC TR 63258:2021 纳米技术.用于评估纳米薄膜厚度的椭偏仪应用指南

标准编号：IEC TR 63258:2021

中文名称：纳米技术.用于评估纳米薄膜厚度的椭偏仪应用指南

英文名称：Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films

发布日期：2021-03-19

标准范围

IEC TR 63258:2021是一份技术报告，重点介绍用于评估纳米薄膜厚度的椭偏仪实用协议。本文件不包括椭偏仪的任何规范，但建议如何最大限度地减少数据变化，以提高数据再现性。

IEC TR 63258:2021 is a Technical Report focused on the practical protocol of ellipsometry to evaluate the thickness of nanoscale films. This document does not include any specification of the ellipsometers, but suggests how to minimize the data variation to improve data reproducibility.

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