GB/T 19199-2003 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

标准编号：GB/T 19199-2003

标准名称：半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

英文名称：Test method for carbon concentration of semi-insulating monocrystal gallium arsenide by measurement infrared absorption method

发布日期：2003-06-16

实施日期：2004-01-01

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所

适用范围

本标准规定了非掺杂半绝缘砷化镓晶片中碳浓度的红外吸收测试方法。本标准适用于电阻率大于1．0×107 Ω·cm的非掺杂半绝缘砷化镓晶片中碳浓度的测定。可测定的最低碳浓度为4.0×1014 cm-3。