ISO 25178-604:2013 产品几何量技术规范（GPS） 表面结构：区域 第604部分：非接触式（相干扫描干涉仪）仪器的标称特性

标准编号：ISO 25178-604:2013

中文名称：产品几何量技术规范（GPS） 表面结构：区域 第604部分：非接触式（相干扫描干涉仪）仪器的标称特性

英文名称：Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments

发布日期：2013-08

标准范围

ISO 25178-604:2013规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉测量（CSI）系统的计量特性。

ISO 25178-604:2013 specifies the metrological characteristics of coherence scanning interferometry (CSI) systems for 3D mapping of surface height.

标准预览图