ISO 22415:2019 表面化学分析二次离子质谱测定有机材料氩簇溅射深度剖面中屈服体积的方法

标准编号：ISO 22415:2019

中文名称：表面化学分析二次离子质谱测定有机材料氩簇溅射深度剖面中屈服体积的方法

英文名称：Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for determining yield volume in argon cluster sputter depth profiling of organic materials