GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准

标准编号：GB/T 18193-2000

标准名称：真空技术 质谱检漏仪校准

英文名称：Vacuum technology--Mass-spectrometer-type leak detector calibration

发布日期：2000-09-26

实施日期：2001-02-01

起草单位

沈阳真空技术研究所

适用范围

本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。 本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。 本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10<上角-12>Pa·m<上角3>·s<上角-1>漏率漏孔限制。 本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。