ISO 15471:2016 表面化学分析俄歇电子光谱法选定的仪器性能参数的描述

标准编号：ISO 15471:2016

中文名称：表面化学分析俄歇电子光谱法选定的仪器性能参数的描述

英文名称：Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy — Description of selected instrumental performance parameters

发布日期：2016-09

标准范围

ISO 15471:2016规定了俄歇电子光谱仪性能特定方面的描述要求。

ISO 15471:2016 specifies the requirements for the description of specific aspects of the performance of an Auger electron spectrometer.