GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼

标准编号：GB/T 17874-1999

标准名称：电子工业用气体 三氯化硼

英文名称：Gases for electronic industry--Boron trichloride

发布日期：1999-09-16

实施日期：2000-06-01

起草单位

光明化工研究设计院

适用范围

本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以粗制三氯化硼为为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。