GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件

标准编号：GB/T 11164-1999

标准名称：真空镀膜设备通用技术条件

英文名称：Vacuum coating plant generic specification

发布日期：1999-04-08

实施日期：1999-09-01

起草单位

上海曙光机械制造厂

适用范围

本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在10<上标-4>～10<上标-3>Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。