ISO 14606:2022 表面化学分析 溅射深度型材 外层系统为参考材料的最佳优化

标准编号：ISO 14606:2022

中文名称：表面化学分析 溅射深度型材 外层系统为参考材料的最佳优化

英文名称：Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials

发布日期：2022-11

标准范围

本文件给出了使用适当的单层和多层参考材料优化溅射深度剖面参数的指导和要求，以便在俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱中实现作为仪器设置函数的最佳深度分辨率。本文件不打算覆盖特殊多层系统(例如δ掺杂层)的使用。

This document gives guidance and requirements on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials, in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.

This document is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.

标准预览图