GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

标准编号：GB/T 17169-1997

标准名称：硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

英文名称：Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection

发布日期：1997-12-22

实施日期：1998-08-01

起草单位

南开大学、天津市半导体材料厂

适用范围