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标准编号:GB/T 11446.4-1997
标准名称:电子级水电阻率的测试方法
英文名称:Test methods for resistivity of electronic grade water
发布日期:1997-09-01
实施日期:1998-09-01
中国科学院半导体研究所
本标准规定了电子级水的电阻率的测试方法。本标准适用于测试电阻率为(0.5~18)MQ·cm(25℃)的电子级水。