GB/T 11446.6-1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

标准编号：GB/T 11446.6-1997

标准名称：电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

英文名称：Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer

发布日期：1997-09-01

实施日期：1998-09-01

起草单位

中国科学院半导体研究所

适用范围

本标准规定了电子级水中二氧化硅的分光光度测定方法。本标准适用于电子级水中二氧化硅的测定，分析下限为1ug/L。