GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

标准编号：GB/T 16880-1997

标准名称：光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

英文名称：Guidelines for photomask defect classification and size definition

发布日期：1997-06-20

实施日期：1998-03-01

起草单位

中国科学院微电子中心

适用范围

本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。