ISO 15471:2004 表面化学分析.俄歇电子光谱法.选定的仪器性能参数的描述

标准编号：ISO 15471:2004

中文名称：表面化学分析.俄歇电子光谱法.选定的仪器性能参数的描述

英文名称：Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy — Description of selected instrumental performance parameters

发布日期：2004-05

标准范围

ISO 15471:2004描述了俄歇电子光谱仪性能的具体方面。

ISO 15471:2004 describes the way in which specific aspects of the performance of an Auger electron spectrometer shall be described.