GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范

标准编号：GB/T 16524-1996

标准名称：光掩模对准标记规范

英文名称：Specification for registration marks for photomasks

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

起草单位

中国科学院微电子中心

适用范围

本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。