GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

标准编号：GB/T 16527-1996

标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

英文名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

起草单位

长沙韶光微电子总公司

适用范围

本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。