GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范

标准编号：GB/T 16523-1996

标准名称：圆形石英玻璃光掩模基板规范

英文名称：Specification for round quartz photomask substrates

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

起草单位

长沙韶光微电子总公司

适用范围

本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。