GB/T 15872-1995 半导体设备电源接口

标准编号：GB/T 15872-1995

标准名称：半导体设备电源接口

英文名称：Power supply interface for semiconductor equipment

发布日期：1995-12-22

实施日期：1996-08-01

起草单位

中国华晶电子集团公司

适用范围

本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别，选择电源接插件、导线和电缆的要求。本标准适用于半导体设备的电源接口。