GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则

标准编号：GB/T 15873-1995

标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则

英文名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification

发布日期：1995-12-22

实施日期：1996-08-01

起草单位

中国华晶电子集团公司

适用范围

本标准规定了半导体设施接口技术文件（以下简称接口文件）编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。